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當前位置:首頁技術文章OLED用顯微鏡

OLED用顯微鏡

更新時間:2021-01-13點擊次數:2556

 產品名稱:OLED用顯微鏡
產品簡介:OLED用顯微鏡是利用金屬光激發(fā)OLE后測量OLED蒸鍍尺寸和偏移等缺陷的顯微鏡。影像量測著重于度,系統(tǒng)底座采用鑄件/花崗石本體結構,減震系統(tǒng)克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題。系統(tǒng)采用XY軸光學尺模塊可實現(xiàn)跨距量測。光學系統(tǒng)采用熒光顯微鏡光路實現(xiàn)對OLED的激發(fā)。人性化計算機量測模式,有效提高觀察定位效率。專為使用者設計機型,使操作更便利、測量更迅速。

產品特點:

手動量測系統(tǒng)XY采用精密無牙螺桿傳動,減少齒輪傳動偏移誤差
線性馬達/伺服馬達用于自動化量測傳動系統(tǒng),能實現(xiàn)高精度測量
系統(tǒng)采用被動式or主動式減震系統(tǒng),能克服環(huán)境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題
系統(tǒng)使用 熒光顯微光路,有效激發(fā)OLED發(fā)射光譜
系統(tǒng)使用人體工學設計理念設計,符合友好化測量
設備應用:

設備主要應用OLED的顯微分析和蒸鍍測量上

量測工具

點,線,圓,弧,橢圓,槽型,曲線等各項不規(guī)則外型取樣

形位公差

真圓度,同心度,垂直度,傾斜度,位置度,等各項形位公差設置

UV功能驗證

UV光源下圖像清晰

斷面測量

按照PO spec要求進行測試并保存結果

自動計算offset

根據蒸鍍有機材料的位置與設定的蒸鍍位置對比,計算offset;或者是將UV光圖像位置和上光源下圖片位置對比,計算offset

UV光和鹵素光自動切換

在軟件中點擊切換按鈕后,可以自動切換光源并呈現(xiàn)相應的圖像

SPC

軟件須附帶SPC功能,量測之數據須能自動導出作分析

報表輸出

軟件可客制化輸出客戶所需之 EXCEL,TXT,WORD,JPG

 

 

7.3.2 設備配置&特征

7.3.2System Configuration& Characteristic

 

 

外部尺寸:L*W*H≤2500*2500*2000mm
External Size: L*W*H≤2500*2500*2000mm

 

*測量行程:X*Y≥750*650mm

Z≤100mm

 

重量:≤5000kg

 

承重:≥10kg

Capacity: ≥10kg

 

*高測量度:XYZ≤1μm

*Maximum Accuracy: XYZ≤1μm

 

*機臺重復性:≤1μm

*Machine Repeatability:≤1μm

 

XYZ小移動距離:XYZ≤1um

XYZ minimum move distance: XYZ≤1um

 

XYZ移動精度: XYZ≤1um

XYZ move precision: XYZ≤1um

 

*XYZ軸移動速度: XYZ≤200mm/s
*XYZ Speed: XY≤200mm/s

 

7.3.3機械本體

7.3.3 Mechanics

  
 

 

*光學放大倍率:5X/10X/20X/50X/100X

 

光源特征:光源可以采用鹵素燈、汞燈,壽命滿足SPEC要求

 

7.3.5電控系統(tǒng)、

7.3.5 Control System

電機:直流伺服電機

Dynamo:DC servo motor

 

操作類型:鼠標和操作手柄,按鍵

Control Type: Mouse and Joystick

 

7.3.6軟件系統(tǒng)

7.3.6 Software System

功能:點,直線,圓,弧,橢圓,槽等測量功能,帶有線追蹤功能,粒子計數,軟件定位系統(tǒng),軟件控制光源亮度,軟件控制電動鼻輪,軟件控制孔徑光闌

 

圖像:可復制,可進行大面積圖形無縫拼接

Image: can copy

 

*數據格式:JPG/Excel

*Data format: JPG/Excel

 

7.3.7 其它

7.3.7 Others

*防微振裝置:達到VC-B級別的防震平臺

*Anti-vibration device: Yes

 

*靜電防護:離子風棒

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