技術(shù)文章
TECHNICAL ARTICLES超景深3D顯微鏡是用入射照明來(lái)觀察金屬試樣表面(金相組織)的顯微鏡,它是將光學(xué)顯微鏡技術(shù)、光電轉(zhuǎn)換技術(shù)、計(jì)算機(jī)圖像處理技術(shù)地結(jié)合在一起而開(kāi)發(fā)研制成的高科技產(chǎn)品,可以在計(jì)算機(jī)上很方便地觀察金相圖像,從而對(duì)金相圖譜進(jìn)行分析,評(píng)級(jí)等以及對(duì)圖片進(jìn)行輸出、打印。
超景深3D顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡。這些不透明物體無(wú)法在普通的透射光顯微鏡中觀察,因此金相和普通顯微鏡的主要差別在于前者以反射光,而后者以透射光照明。在超景深3D顯微鏡中照明光束從物鏡方向射到被觀察物體表面,被物面反射后再返回物鏡成像。這種反射照明方式也廣泛用于集成電路硅片的檢測(cè)工作。
超景深3D顯微鏡的聚光鏡的中心調(diào)整:
(1)調(diào)出清晰的多邊形:將視場(chǎng)光闌和孔徑光闌調(diào)到較小的狀態(tài),如果超景深3D顯微鏡的狀態(tài)正確,此時(shí)在視野中應(yīng)該可以看到一個(gè)邊緣清楚的多邊形。
如果看到的不是一個(gè)邊緣清楚的多邊形,則說(shuō)明光路中的聚光鏡上下位置不準(zhǔn)確。此時(shí)轉(zhuǎn)動(dòng)聚光鏡的上下調(diào)節(jié)旋鈕,使聚光鏡緩慢上升或下降,使得視場(chǎng)中形成一個(gè)邊緣清晰的多邊形。
但注意不要經(jīng)常調(diào)節(jié)聚光鏡高度!調(diào)節(jié)好高度后,以后調(diào)節(jié)或觀察的時(shí)候都不要再移動(dòng)其高低位置了。超景深3D顯微鏡按裝好后,大多都已經(jīng)調(diào)節(jié)好高度了,所以可以直接進(jìn)行下一步的調(diào)節(jié)。(有時(shí)如果找不到多邊形,可以將視場(chǎng)光闌稍微放大,在稍亮的情況下就可以找到。)
(2)多邊形調(diào)到正中心:視野中的多邊形的正確位置應(yīng)該是在視野的正中心,如果不在說(shuō)明光路有偏移,需要調(diào)節(jié)聚光器對(duì)中螺釘,即兩個(gè)銀色的旋鈕,使多邊形在視野的中心。調(diào)節(jié)過(guò)程中看到的視野。
(3)多邊形調(diào)成外切:將視場(chǎng)光闌慢慢放大,當(dāng)多邊形正好外切于視場(chǎng)的時(shí)候就是視場(chǎng)光闌的較佳工作位置。這樣超景深3D顯微鏡聚光鏡的光軸調(diào)到了與照明光路以及成像光路的光軸合軸。調(diào)節(jié)好后,日常使用中不要亂調(diào)對(duì)中螺絲桿。
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